Pět běžných typů vakuových čerpadel zahrnuje rotační lopatka, suchý šroub, vír bez oleje, kořenové vakuové čerpadlo a turbomolekulární vakuové čerpadlo. Následující jsou specifické klasifikace a funkce:
Vakuové čerpadlo rotační lopatky
Struktura: Skládá se z excentrického rotoru a pružiny, který tvoří cyklus sacího komprese a otočením a škrábáním čerpací komory.
Funkce: Je vhodný pro potřeby středního vakua a běžně se používá v laboratořích a průmyslových základních výfukových plynech.
Suché šroubové vakuové čerpadlo
Struktura: Šrouby Yin a Yang poháněné synchronními ozubenými koly se používají k dosažení komprese plynu pomocí komorního tlaku.
Funkce: Žádné znečištění oleje, silná odolnost proti korozi, vhodná pro průmyslová odvětví s vysokými požadavky na čistotu, jako jsou polovodiče a elektronika.
Vakuové čerpadlo bez oleje bez oleje
Struktura: Pohybující se a statické disky tvoří půlměsíční dutinu s úhlem středby 30 stupňů a plyn je stlačen excentrickou rotací.
Funkce: Nízký hluk, vysoká účinnost a ochrana životního prostředí, široce používané při lékařském vybavení a přesné výrobě.
Kořenové vakuové čerpadlo
Struktura: Dvojité rotory ve tvaru „8“ se synchronně otáčí ke kompresovému plynu, což je pozitivní čerpadlo posunu.
Funkce: Velký objem vzduchu a jednoduchá údržba, běžně používaná v chemickém a potravinářském průmyslu, ale existuje problém s pulzací vzduchu.
Turbomolekulární vakuové čerpadlo
Struktura: Hliníkové lopatky a ložiska magnetických suspenzí se používají k otáčení vysokou rychlostí, aby ovlivnily molekuly plynu, podobně jako princip reverzního elektrického ventilátoru.
Funkce: Vysoké maximální vakuum, vhodné pro špičkové pole, jako je vědecký výzkum a polovodičová výroba.
